研磨材リサイクル技術
研磨材リサイクル装置
多孔質セラミックス
ラッピング・ポリッシング
メンテナンス
制御盤製作
当社のリサイクル装置は高品質・低コスト・省スペースを重視した設計になっています。既に、国内外の半導体用シリコンウエハー製造・メーカーへの販売・納入実績があります。また、品質は安定しており、リサイクル装置を導入されたお客様において、リサイクル研磨材に起因する不良は発生しておりません。リサイクル装置については、お客様の使用環境や生産状況を十分に把握した上で、それぞれのお客様に合わせてオーダーメイドもできますので、研磨材の使用量や条件など実態に則したリサイクルが行えます。