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| 資源の浪費・環境破壊が大きな社会問題となっていますが、シリコンウエハーの加工に用いられている研磨廃液は、大量の産業廃棄物として廃棄されているのが現状です。産業廃棄物の抑制・環境保護の観点から企業の責任はますます大きくなっています。 |
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| そのような背景を基に当社では、独自の研磨材のリサイクル技術の研究・開発を始めました。開発を始めた当初から宮崎県工業技術 センターに協力・助言を頂く一方で、平成8年に宮崎県地域中核企業育成支援対象事業に認定され、平成12・13年は宮崎県の研究委託事業に認定、平成14年には国の補助金を頂きながらの開発を進め、ついに使用済み研磨廃液から新品同様の研磨材を精製することが可能となりました。また、研磨材のみならず、研磨材を分散させている分散剤（ラップ液）も高度なろ過装置を使用することによりろ過・再利用を可能にしました。研磨材のリサイクルのみならず、研磨廃液もあわせてリサイクルでき、トータル的なリサイクル活動をサポートします。 |
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リサイクルを実施する過程において、化学薬品を一切使用していないため、環境に優しいシステムとなっています。 |
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研磨廃液中に含まれる研磨材成分の約70％をリサイクル研磨材として回収できます。 |
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高い分級精度により、新品と遜色のない研磨性能を実現しています。 |
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今まで研磨廃液を廃棄するのに要していた廃棄費用が不要になり、新品研磨材の使用量を大幅に削減することが可能となり、大きなコストメリットを生み出すことができます。 |
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| 当社では、長年培ってきた分級技術を広く応用した事業展開を考えています。シリコンウエハー用研磨材のリサイクルにとどまらず、他の用途の研磨材・粉体についてもテスト・研究を実施いたしますのでご要望の方はお問い合わせフォームにてご連絡下さい。 |
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